派瑞林(Parylene)是一种聚对二甲苯的聚合物,根据分子结构的不同,派瑞林(Parylene)可分为N型、C型、D型、F型、HT型等多种类型。
N型: 是对二甲苯的高聚物,由 poly-p-xylylene 方式键聚合,其特性为线性,是高结晶材料。CAS号:1633-22-3,熔点:420℃。派瑞林N粉在各类Parylene 中具有较强的渗透力,能够有效地在各种细缝或针孔表面形成薄膜。它的介电常数极地且耗散因子小,随外界频率的增加变化不大,同时极低摩擦系数使其有优异的润滑效果,主要用于橡胶和光学领域。
C型:派瑞林C是一种保护性高分子材料,在其芳香基中之两个氢原子被氯所取代,CAS号:28804-46-8,熔点:290℃,它可在真空下气相沉积。分子的穿透力能使其在元件内部、底部、周围形成无针孔的优质保护层。派瑞林C是目前应用最普遍的原料,应用于微电子、半导体、印刷电路版、生物传感器、文物保护等领域。
F型:将苯环上的 4 个氢原子被氟取代,CAS号:1785-64-4,熔点:321℃。与 N型、C型比较,其薄膜的介电强度高、介电常数低( 即透波性好)、热稳定性好。薄膜本身连续、致密、无针孔、短期耐温可达 450 度,长期耐高温可达 350 度,还具有较强的抗紫外线能力,适合用于高频微波炉器件的防护材料。