PT3V150-180S开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上，可提供> ±0.9mrad的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制可为高速应用提供出色的响应时间。
压电偏转镜由三个彼此成120°角的压电陶瓷元件驱动，通过坐标变换，可以在不同的压电陶瓷元件之间协调运动。通过平行布置压电陶瓷元件并采用平行结构，可以用相同的机构紧凑地实现角位移和直线运动。
PT3V150-180S是采用压电陶瓷驱动的偏转台，采用有限元分析进行优化，平台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，补偿量小，确保了平台极佳的运动精度和超高的稳定性。
平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计，且中央通孔较大，可更好的集成于显微及光学扫描系统中。
产品特性
—中空尺寸100x100mm
—优异的位置稳定性及亚毫弧度级分辨率
—θxθy 二维偏转
—Z轴位移80μm、闭环光束偏转角度≥±0.9 mrad（闭环）
—内部集成应变片传感器
选配功能
—可定制转接装置及定制其它固定方式
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可定制镜片转接工装
应用领域
—图像处理/稳定
—激光扫描/光束偏转
—激光调谐、激光束稳定
—光学过滤器/开关
—干涉测量
驱动方式 结构特性 典型应用
PT3V150-180S系列技术参数
