PKVL150-100U/300U可与电动平台进行配合使用，移动面设计为可以放置样品的培养皿，便于用户操作产品。
利用精密并联运动设计通过FEA优化的精密弯曲来确保高刚度和较长的设备寿命，PKVL150-100U/300U扫描台可提供最佳的性能。超高的刚度和动态使用频率，可实现更高精度和更快速的闭环响应。
本产品具有亚纳米性能。PKVL150-100U/300U压电纳米台均可提供闭环反馈（-S）或开环（无反馈）。独特的位置传感器并行计量设计可测量位移输出，直接实现亚纳米分辨率及更高的精度特性。
PKVL150-100U/300U压电平台可定制转接板与面包板光学平台上进行固定。压电平台可根据要求提供定制材料和真空制备版本。
产品特性
—Z位移：80μm（闭环）
—中孔尺寸：66x66mm
—最大承载能力：5Kg
—并联结构设计可进行高动态应用
—高精度平行柔性导向
选配功能
—可定制转接装置及中心孔径大小
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可选择θxθy轴版本
应用领域
—扫描显微镜
—超分辨率显微镜
—掩模、晶圆定位
—干涉测量、测量技术
—显微操纵
结构原理 堆叠形式 典型应用
PKVL150-100U/200U/300U系列技术参数
