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AR衍射光波导加工工艺

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产品品牌AR衍射光波导加工工艺

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更新日期2025-07-10 10:40

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商品信息

基本参数

品牌:

AR衍射光波导加工工艺

所在地:

河南 洛阳市

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有效期至:

长期有效
详细说明

GL150/300 CLIV紫外纳米压印光刻设备主要功能

● 全自动150/300mm大面积、高精度、高深宽比纳米压印生产线

●CLIV技术,确保压印结构精度与结构填充完整性

●Cassette to cassette自动上下片,光学巡边预对位

●设备内自动复制柔性复合工作模具,同时支持自动更换工作模具,适合连续生产

●自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模,工艺过程在密闭洁净环境中自动进行,以保证压印质量

●标配高功率紫外LED面光源(365nm,光强>1000mW/cm2 ),水冷冷却,特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制,支持各种商用纳米压印材料

●产能可大于40片每小时,适合DOE、AR/VR衍射光波导(包括斜齿光栅)、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用领域的量产

●随机提供全套纳米压印工艺与材料,包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构等工艺流程,帮助客户零门槛达到国际的纳米压印水平

https://www.chem17.com/st472071/product_38112460.html
http://www.qdgermanlitho.com/Products-38112460.html

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