MOCVD外延滤芯K465i的主要作用是滤除混合气体中的粉尘和颗粒,保护设备正常运行。
MOCVD(metal Organic Chemical Vapor Deposition)是一种基于气相外延生长的技术,广泛应用于LED、半导体激光器、太阳能电池等领域。MOCVD设备在运行过程中会产生大量含有颗粒和粉尘的尾气,这些杂质如果不及时处理,会对设备造成损害,影响生产效率和产品质量。因此,MOCVD外延滤芯K465i的安装显得尤为重要。
具体作用和特点
- 过滤杂质:MOCVD外延滤芯K465i采用两级过滤工艺,能够有效去除不同大小的颗粒杂质,保护设备免受损害12。
- 耐高温:滤芯采用耐高温玻纤滤料,长期使用温度可达250度以上,适用于高温环境12。
- 高精度:专用的高精度过滤材料,空隙均匀,过滤精度高,有效保护设备12。
- 容污能力强:波纹工艺增加了有效过滤面积,容污能力强,使用周期长