赛默飞等离子体光谱仪是通过线圈磁场达到高温使样品的状态呈等离子态然后进行测量的，要比普通直读光谱仪器的检出限小，精度高，但是在进样系统上要求非常严格。由灯源、光阑、干涉仪、样品室、检测器以及各种反射镜、数据处理系统等组成。
赛默飞等离子体光谱仪的原理：
高频振荡器产生高频电流，经耦合系统连接在位于等离子体发生管上端，铜制内部用水冷却的管状线圈上。
石英制成的等离子体发生管内有三个同轴氩气流经通道。冷却气(Ar)通过外部及中间的通道，环绕等离子体起稳定等离子体炬及冷却石英管壁，防止管壁受热熔化的作用。
工作气体(Ar)则由中部的石英管道引入，开始工作时启动高压放电装置让工作气体发生电离，被电离的气体经过环绕石英管顶部的高频感应圈时，线圈产生的J大热能和交变磁场，使电离气体的电子、离子和处于基态的Ne原子发生反复猛烈的碰撞，各种粒子的高速运动，导致气体*电离形成一个类似线圈状的等离子体炬区面，此处温度达6000一10000摄氏。
样品经处理制成溶液后，由超雾化装置变成全溶胶由底部导入管内，经轴心的石英管从喷咀喷入等离子体炬内。样品气溶胶进入等离子体焰时，绝大部分立即分解成激发态的原子、离子状态。当这些激发态的粒子回收到稳定的基态时要放出一定的能量，测定每种元素特有的谱线和强度，和标准溶液相比，就可以知道样品中所含元素的种类和含量。
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