产品描述
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业, 干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求, 特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高, 有效降低了企业成本.
干式真空泵 A4X 系列 产品优势：
干式真空泵 A4X 系列核心优势：
1.耐腐蚀设计，使用寿命长
2.通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
3.特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
4.配置氮气吹扫阀，耐粉尘
干式真空泵 A4X 系列 技术参数：
干式真空泵 A4X 系列技术参数：
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型号 |
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A 124 H |
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A 604 H |
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A 1204 H |
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A 204 H |
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A 804 H |
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A 1504 H |
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A 1804 H |
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抽速 m3/h |
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110 |
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560 |
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1150 |
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160 |
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700 |
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1200 |
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1700 |
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极限真空 |
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2X10-2 |
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2X10-4 |
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9X10-4 |
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5X10-2 |
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2X10-3 |
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极限真空 |
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6X10-3 |
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2X10-1 |
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9X10-3 |
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全转速最大进气气流 SLM |
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55 |
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150 |
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70 |
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最大功率 KW |
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1.5 |
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1.9 |
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2.3 |
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2.2 |
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2.6 |
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最大排气压力hPa |
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1200 |
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进气口 ISO-KF |
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DN 50 |
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DN 100 |
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DN 160 |
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DN 100 |
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DN 160 |
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重量 kg |
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250 |
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370 |
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260 |
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干式真空泵 A4X 系列 尺寸及抽速：
干式真空泵 A4X 系列抽速：
干式真空泵 A4X 系列 应用领域：
干式真空泵 A4X 系列应用:
半导体: （蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业: 光伏和 LED
